关于SiO2Si的知识百科

• SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管

• 全部作者：张新安张景文侯洵第1作者单位：西安交通大学陕西省信息光子技术重点实验室论文摘要：在NH3和O2的混合气氛下，采用激光分子束外延法（L-MBE）在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜，XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高的结晶质量和高度的C轴择优取向性，（0002）面摇摆曲线的...
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